Publications of Thomas Petigk

Thesis - Diploma (1)

1.
Thesis - Diploma
Petigk, T.: Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors. Diploma, Fachhochschule, Wiesbden (2002)
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